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芯片為什麼要用光刻機

1、光刻機(Mask Aligner)又名:掩模對準曝光機,曝光系統,光刻系統等。常用的光刻機是掩膜對準光刻,所以叫 Mask Alignment System.

芯片為什麼要用光刻機

2、因為芯片遠比這小得多,動不動就是nm的,這些最小也就是μm級別,那麼到底是什麼刻刀能做到這麼精細。所以就想到了,用光線在芯片上刻,就是光刻機。

3、Photolithography(光刻)意思是用光來製作一個圖形(工藝);在硅片表面勻膠,然後將掩模版上的圖形轉移光刻膠上的過程將器件或電路結構臨時“複製”到硅片上的過程。形象的來説光刻機就是個“投影儀”,把我們想要的圖案投影到芯片上。

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