mems的精選

mems即微機電系統（英語：MicroelectromechanicalSystems，縮寫為MEMS）是將微電子技術與機械工程融合到一起的一種工業技術，它的操作範圍在微米範圍內。比它更小的，在納米範圍的類似的技術被稱為納機電系統。微機電系統（MEMS,Mi...